半导体级纯度，满足关键应用
先进芯片生产的关键前驱体
电子级TEOS是半导体制造中沉积高质量二氧化硅薄膜的行业标准前驱体。
在所有技术节点的先进半导体器件制造中至关重要。
电子级TEOS必须满足严格的半导体行业标准，以防止关键芯片制造工艺中的污染和缺陷。
SEMI标准：符合SEMI C33(电子材料化学规格)
ITRS路线图：适用于当前和未来的技术节点要求
客户认证：兼容领先的晶圆厂和IDM规格
| 参数 | 规格 | 测试方法 |
|---|---|---|
| 纯度(TEOS) | ≥ 99.999% | GC-MS |
| 外观 | 无色透明液体 | 目测 |
| 密度(25°C) | 0.93 - 0.94 g/cm³ | ASTM D4052 |
| 水分含量 | < 10 ppm | 卡尔费休 |
| 金属杂质 | < 1 ppb(每种) | ICP-MS |
| 颗粒计数(>0.2μm) | < 5颗粒/mL | 激光颗粒计数器 |
| 氯化物(Cl) | < 0.1 ppm | 离子色谱 |
| 折射率(25°C) | 1.3820 - 1.3830 | ASTM D1218 |
| 包装 | 洁净室认证容器 | 定制尺寸 |
| 保质期 | 12个月(未开封) | - |
99.999%(5N)纯度确保无缺陷薄膜沉积和最佳器件性能。
每批次测试金属、颗粒和杂质，提供完整的CoA文档。
洁净室兼容容器防止从供应链到晶圆厂的污染。
提供CVD/ALD工艺优化和故障排除的应用工程支持。
下载电子级TEOS的全面技术文档。
完整规格和性能参数
应要求提供操作和安全信息
应要求提供质量保证文档
应要求提供索取技术文档：所有技术文档均提供PDF格式。 请联系我们的团队以获取此产品的TDS、MSDS和COA文件。 文档将在24小时内提供。
